Modélisation et élaboration des métrologies de microscopie thermique à sonde locale résistive - TEL - Thèses en ligne Accéder directement au contenu
Thèse Année : 2004

Modélisation et élaboration des métrologies de microscopie thermique à sonde locale résistive

Résumé

The recent development of microsytems and nanostructures leads to a renewal of the thermal metrologies. The aim of this thesis is to master, thanks to modelling, an atomic force microscopy used with a thermal probe to estimate the thermal conductivity of sample at submicrometric scales. We first established a compact and complete analytical model allowing us to understand the phenomena implied in this metrology when the probe is heated in direct-current mode. We thus characterized the field of application and the limitations of this microscope. We then conceived and modelled a new process using the periodic mode to measure more precisely the local thermal properties. The retrospective analysis of our results led finally to an identification of the contributions of each mode of heat transfer between the probe and the sample and their respective surface of transfer.
Les nouvelles avancées dans le domaine des microsystèmes et des nanostructures amènent en particulier à repenser les métrologies thermiques. Le but de cette thèse est de maîtriser, par la modélisation, une microscopie à force atomique instrumentée d'une sonde thermique pour estimer la conductivité thermique d'un échantillon à l'échelle submicrométrique. Nous avons d'abord établi un modèle analytique compact et complet permettant de comprendre les phénomènes impliqués dans cette métrologie lorsque la pointe est chauffée en régime continu. Nous avons ainsi caractérisé le domaine d'utilisation et les limitations de ce microscope. Nous avons ensuite conçu et modélisé un nouveau procédé opérant en régime périodique pour mesurer de manière plus précise les propriétés thermiques locales. L'analyse rétrospective de nos résultats a conduit enfin à une identification des contributions de chaque mode de transfert entre la pointe et l'échantillon ainsi que leur surface d'échange respective.
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Dates et versions

tel-00007145 , version 1 (18-10-2004)

Identifiants

  • HAL Id : tel-00007145 , version 1

Citer

Stéphane Lefèvre. Modélisation et élaboration des métrologies de microscopie thermique à sonde locale résistive. Energie électrique. Université de Poitiers, 2004. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨tel-00007145⟩

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