RESEAUX DE MICROBOBINES PLANAIRES ET MEMBRANES MAGNETIQUES DEFORMABLES APPLICATION A L'OPTIQUE ADAPTATIVE
Résumé
This thesis deals with the development of magnetic microsystems. Arrays of planar magnetic microcoils are designed and modeled, then built and characterized. The microtechnologies used and developped in the project allow both for their miniaturisation and collective fabrication. The fonction of thèse coils is to apply local magnetic forces in ordet to control the déformation of a flexible membrane. Thin polymeric membranes (dJameter 40 mm) are manufactured on AsGa substrates by spin-coating and chemical etching, then permanent magnets are glued onto them. The application is a defotmable mirror used in asttonomy to correct the wavettont of incoming light in télescopes. This type of mirror is more compact than those currently used, and offers potentially higher resolution. The device is designed using magnetic and mechanical modeling, and a prototype is built
Cette thèse a été menée dans le domaine des microsystèmes magnétiques. Des actionneurs magnétiques de type réseaux de bobines planaires de champ sont conçus, simulés et caractérisés. Les microtechnologies utilisées et développées permettent une miniaturisation poussée et une fabrication collective. La fonction de ces bobines est d'exercer les forces locales nécessaires au contrôle de la déformation de membranes magnétiques souples. Des membranes polymères de diamètre 40 mm sont élaborées sur substrat et les composants aimantés sont collés en vis à vis avec les bobines. L'application étudiée est un miroir defotmable utilisé en astronomie pour corriger la planéité du front d'onde de la lumière incidente dans les télescopes spatiaux ou au sol. Ce type de miroir, plus compact que ceux actuellement employés et de résolution potentiellement supérieure, est conçu à l'aide de modélisation magnétique et mécanique, et un prototype est réalisé
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