<?xml version="1.0" encoding="utf-8"?>
<TEI xmlns="http://www.tei-c.org/ns/1.0" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:hal="http://hal.archives-ouvertes.fr/" xmlns:gml="http://www.opengis.net/gml/3.3/" xmlns:gmlce="http://www.opengis.net/gml/3.3/ce" version="1.1" xsi:schemaLocation="http://www.tei-c.org/ns/1.0 http://api.archives-ouvertes.fr/documents/aofr-sword.xsd">
  <teiHeader>
    <fileDesc>
      <titleStmt>
        <title>HAL TEI export of tel-01073864</title>
      </titleStmt>
      <publicationStmt>
        <distributor>CCSD</distributor>
        <availability status="restricted">
          <licence target="https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/">CC0 1.0 - Universal</licence>
        </availability>
        <date when="2026-05-04T14:55:12+02:00"/>
      </publicationStmt>
      <sourceDesc>
        <p part="N">HAL API Platform</p>
      </sourceDesc>
    </fileDesc>
  </teiHeader>
  <text>
    <body>
      <listBibl>
        <biblFull>
          <titleStmt>
            <title xml:lang="en">Low frequency electrical noise as a tool for non-destructive diagnostic submicron and nanometer MOS technologies</title>
            <title xml:lang="fr">Bruit électrique basse fréquence comme outil de diagnostic non destructif pour des technologies MOS submicroniques et nanométriques</title>
            <author role="aut">
              <persName>
                <forename type="first">Bogdan</forename>
                <surname>Cretu</surname>
              </persName>
              <email type="md5">5d1a4961f7ac444e4ca8ed2ecc760ed8</email>
              <email type="domain">ensicaen.fr</email>
              <idno type="idhal" notation="string">bogdan-cretu</idno>
              <idno type="idhal" notation="numeric">175314</idno>
              <idno type="halauthorid" notation="string">712609-175314</idno>
              <idno type="IDREF">https://www.idref.fr/253128684</idno>
              <affiliation ref="#struct-406687"/>
            </author>
            <editor role="depositor">
              <persName>
                <forename>Greyc</forename>
                <surname>Référent</surname>
              </persName>
              <email type="md5">7418107b24ff6de58b2c24e375bb5c89</email>
              <email type="domain">ensicaen.fr</email>
            </editor>
          </titleStmt>
          <editionStmt>
            <edition n="v1" type="current">
              <date type="whenSubmitted">2014-10-10 15:40:21</date>
              <date type="whenModified">2025-08-12 15:23:09</date>
              <date type="whenReleased">2014-10-20 08:32:43</date>
              <date type="whenProduced">2013-12-10</date>
              <date type="whenEndEmbargoed">2014-10-10</date>
              <ref type="file" target="https://theses.hal.science/tel-01073864v1/document">
                <date notBefore="2014-10-10"/>
              </ref>
              <ref type="file" n="1" target="https://theses.hal.science/tel-01073864v1/file/HDR-Bogdan-Cretu-2013.pdf" id="file-1073864-1153362">
                <date notBefore="2014-10-10"/>
              </ref>
            </edition>
            <respStmt>
              <resp>contributor</resp>
              <name key="180017">
                <persName>
                  <forename>Greyc</forename>
                  <surname>Référent</surname>
                </persName>
                <email type="md5">7418107b24ff6de58b2c24e375bb5c89</email>
                <email type="domain">ensicaen.fr</email>
              </name>
            </respStmt>
          </editionStmt>
          <publicationStmt>
            <distributor>CCSD</distributor>
            <idno type="halId">tel-01073864</idno>
            <idno type="halUri">https://theses.hal.science/tel-01073864</idno>
            <idno type="halBibtex">cretu:tel-01073864</idno>
            <idno type="halRefHtml">Electronique. Université de Caen, 2013</idno>
            <idno type="halRef">Electronique. Université de Caen, 2013</idno>
            <availability status="restricted">
              <licence target="https://about.hal.science/hal-authorisation-v1/">HAL Authorization<ref corresp="#file-1073864-1153362"/></licence>
            </availability>
          </publicationStmt>
          <seriesStmt>
            <idno type="stamp" n="CNRS">CNRS - Centre national de la recherche scientifique</idno>
            <idno type="stamp" n="ENSI-CAEN">Ecole Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen</idno>
            <idno type="stamp" n="GREYC">Groupe de Recherche en Informatique, Image, Automatique et Instrumentation de Caen (GREYC)</idno>
            <idno type="stamp" n="GREYC-ELECTRONIQUE" corresp="GREYC">GREYC electronique</idno>
            <idno type="stamp" n="COMUE-NORMANDIE">Normandie Université</idno>
            <idno type="stamp" n="THESES-NU">Thèses de Normandie Université</idno>
            <idno type="stamp" n="ENSICAEN">École Nationale Supérieure d’Ingénieurs de Caen</idno>
            <idno type="stamp" n="UNICAEN">Université de Caen Normandie</idno>
          </seriesStmt>
          <notesStmt/>
          <sourceDesc>
            <biblStruct>
              <analytic>
                <title xml:lang="en">Low frequency electrical noise as a tool for non-destructive diagnostic submicron and nanometer MOS technologies</title>
                <title xml:lang="fr">Bruit électrique basse fréquence comme outil de diagnostic non destructif pour des technologies MOS submicroniques et nanométriques</title>
                <author role="aut">
                  <persName>
                    <forename type="first">Bogdan</forename>
                    <surname>Cretu</surname>
                  </persName>
                  <email type="md5">5d1a4961f7ac444e4ca8ed2ecc760ed8</email>
                  <email type="domain">ensicaen.fr</email>
                  <idno type="idhal" notation="string">bogdan-cretu</idno>
                  <idno type="idhal" notation="numeric">175314</idno>
                  <idno type="halauthorid" notation="string">712609-175314</idno>
                  <idno type="IDREF">https://www.idref.fr/253128684</idno>
                  <affiliation ref="#struct-406687"/>
                </author>
              </analytic>
              <monogr>
                <imprint>
                  <date type="dateDefended">2013-12-10</date>
                </imprint>
                <authority type="institution">Université de Caen</authority>
                <authority type="supervisor">Gérard GHIBAUDO</authority>
                <authority type="jury">Gérard GHIBAUDO, rapporteur, DR CNRS (IMEP-LAHC, INPGrenoble) ,</authority>
                <authority type="jury">Matteo VALENZA, rapporteur, Prof. (Univ. Montpellier),</authority>
                <authority type="jury">Eddy SIMOEN, Prof. Dr. Ir. (Univ. Gand), Senior Researcher (IMEC Leuven),</authority>
                <authority type="jury">Jean-Guy TARTARIN, Prof. (Univ. Toulouse)</authority>
                <authority type="jury">Jean-Marc ROUTOURE, Prof. (Univ. Caen),</authority>
                <authority type="jury">Régis CARIN, rapporteur parrain, Prof. (Univ. Caen).</authority>
              </monogr>
            </biblStruct>
          </sourceDesc>
          <profileDesc>
            <langUsage>
              <language ident="fr">French</language>
            </langUsage>
            <textClass>
              <keywords scheme="author">
                <term xml:lang="en">low frequency noise</term>
                <term xml:lang="fr">transistors MOS</term>
                <term xml:lang="fr">bruit basse fréquence</term>
              </keywords>
              <classCode scheme="halDomain" n="spi.tron">Engineering Sciences [physics]/Electronics</classCode>
              <classCode scheme="halTypology" n="HDR">Habilitation à diriger des recherches</classCode>
              <classCode scheme="halOldTypology" n="HDR">Habilitation à diriger des recherches</classCode>
              <classCode scheme="halTreeTypology" n="HDR">Habilitation à diriger des recherches</classCode>
            </textClass>
            <abstract xml:lang="fr">
              <p>Ce mémoire représente une synthèse des travaux de recherche effectués lors des dix dernières années sur l'étude du bruit basse fréquence dans des transistors MOS fortement submicroniques et nanométriques. L'étude du bruit intrinsèque dans les transistors MOS s'avère d'une importance fondamentale car les fluctuations du courant (tension) traversant le canal sont induites par des pièges situés à l'interface canal / diélectrique de grille, dans la profondeur de l'oxyde de grille ou dans la zone de déplétion du transistor ; ces pièges peuvent apparaitre pendant les différentes étapes technologiques de fabrication des transistors ou être liées à la qualité des matériaux utilisés ; les études du bruit permettent ainsi d'évaluer la qualité et la fiabilité des composants et également de comprendre certains phénomènes physiques liés au transport des porteurs qui peuvent être observés dans le fonctionnement du transistor MOS. Les résultats présentés sont originaux car les transistors étudiés sont réalisés en utilisant des procédés intégrant les principales innovations technologiques de ces dernières années ; mais aussi car les études ont été portées sur une large gamme de températures (10 K et de 77 K à 300 K). En plus de l'identification des pièges dans la zone de déplétion des transistors par la méthode de spectroscopie du bruit, ces études du bruit en fonction de la température ont permis de valider plusieurs hypothèses et de mettre en évidence des mécanismes qui n'auraient pas pu être observés si les études avait été effectuées uniquement à température ambiante. Les études montrent que l'étude du bruit basse fréquence s'avère un outil de diagnostic non destructif de caractérisation électrique très fructueux pour avoir une meilleure compréhension des mécanismes de transport de charge régnant dans le canal d'inversion des transistors ; et fournissant un facteur de mérite permettant d'évaluer la fiabilité et d'accompagner la miniaturisation des transistors dans les technologies ultimes.</p>
            </abstract>
          </profileDesc>
        </biblFull>
      </listBibl>
    </body>
    <back>
      <listOrg type="structures">
        <org type="researchteam" xml:id="struct-406687" status="VALID">
          <orgName>Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072</orgName>
          <desc>
            <address>
              <country key="FR"/>
            </address>
          </desc>
          <listRelation>
            <relation active="#struct-150" type="direct"/>
            <relation active="#struct-7127" type="indirect"/>
            <relation active="#struct-455934" type="indirect"/>
            <relation active="#struct-246955" type="indirect"/>
            <relation name="UMR6072" active="#struct-441569" type="indirect"/>
          </listRelation>
        </org>
        <org type="laboratory" xml:id="struct-150" status="VALID">
          <idno type="IdRef">035827335</idno>
          <idno type="ISNI">0000 0000 9466 2590</idno>
          <idno type="RNSR">201722568L</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/043749971</idno>
          <idno type="Wikidata">Q3117752</idno>
          <orgName>Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen</orgName>
          <orgName type="acronym">GREYC</orgName>
          <date type="start">1995-01-01</date>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>Boulevard du Maréchal Juin - 14050 CAEN Cedex</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.greyc.fr</ref>
          </desc>
          <listRelation>
            <relation active="#struct-7127" type="direct"/>
            <relation active="#struct-455934" type="indirect"/>
            <relation active="#struct-246955" type="direct"/>
            <relation name="UMR6072" active="#struct-441569" type="direct"/>
          </listRelation>
        </org>
        <org type="institution" xml:id="struct-7127" status="VALID">
          <idno type="IdRef">026403064</idno>
          <idno type="ISNI">0000000121864076</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/051kpcy16</idno>
          <orgName>Université de Caen Normandie</orgName>
          <orgName type="acronym">UNICAEN</orgName>
          <date type="start">1432-01-01</date>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 CAEN Cedex 5</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.unicaen.fr/</ref>
          </desc>
          <listRelation>
            <relation active="#struct-455934" type="direct"/>
          </listRelation>
        </org>
        <org type="regroupinstitution" xml:id="struct-455934" status="VALID">
          <idno type="IdRef">190906332</idno>
          <idno type="ISNI">0000000417859671 </idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/01k40cz91</idno>
          <orgName>Normandie Université</orgName>
          <orgName type="acronym">NU</orgName>
          <date type="start">2015-01-01</date>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.normandie-univ.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
        <org type="institution" xml:id="struct-246955" status="VALID">
          <idno type="IdRef">190907991</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/01fpqqe90</idno>
          <orgName>École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen</orgName>
          <orgName type="acronym">ENSICAEN</orgName>
          <desc>
            <address>
              <addrLine>6, Boulevard du Maréchal Juin CS 45053 14050 CAEN cedex 04</addrLine>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">http://www.ensicaen.fr/</ref>
          </desc>
          <listRelation>
            <relation active="#struct-455934" type="direct"/>
          </listRelation>
        </org>
        <org type="regroupinstitution" xml:id="struct-441569" status="VALID">
          <idno type="IdRef">02636817X</idno>
          <idno type="ISNI">0000000122597504</idno>
          <idno type="ROR">https://ror.org/02feahw73</idno>
          <orgName>Centre National de la Recherche Scientifique</orgName>
          <orgName type="acronym">CNRS</orgName>
          <date type="start">1939-10-19</date>
          <desc>
            <address>
              <country key="FR"/>
            </address>
            <ref type="url">https://www.cnrs.fr/</ref>
          </desc>
        </org>
      </listOrg>
    </back>
  </text>
</TEI>