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Bienvenue dans la collection HAL du groupe SCIPRA : Sciences et Ingénierie des Plasmas Réactifs et des Arcs
La démarche scientifique de notre équipe consiste à étudier l’ensemble de la chaîne d’un procédé plasma hors-équilibre depuis la source d’énergie jusqu’à la propriété finale du matériau élaboré/modifié en passant par la physico-chimie en phase plasma et l’interaction plasma-surface. Une spécificité importante et assez unique de l’équipe est d’exploiter un panel de réacteurs plasma couvrant un large champ d’exploration, de la basse pression (BP) (mTorr) jusqu’à la pression atmosphérique (PA) et des basses fréquences (quelques kHz) jusqu’aux microondes. Pour plus d'informations sur nos recherches
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Sujets
Electrostatic actuators
Pulsed gas injection
Aeronautic cable
Plasma process
Aerosol-assisted process
Discharge in water
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SiO2
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Aerosols
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Ag nanoparticles
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Safer-by-design
Aerosol-assisted atmospheric pressure plasma
Adaptive optics
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Aerosol-Assisted Plasma Deposition
Plasma processes
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Silicon oxides
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Silver vapors
Nanoparticules d'argent
AgNPs
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Pulsed Direct Liquid Injection
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BFGS Quasi Newton algorithm
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Nanostructured dielectrics
Silicon nanoparticles
Electric Discharge Power Supply
Associative ionization
Atmospheric pressure plasma
SAB
KPFM
Arc électrique
Bolsig+
Silicon nitride
Plasma
RF MEMS capacitive switches
Couches minces
Dielectric materials
Breakdown
Dust
Silver
Barrière diélectrique
Silice
Optical emission spectroscopy
AgNPs charge trapping electroluminescence nanostructured dielectrics plasma processes tailored interfaces
3D step coverage
Breaker
Astrophysique de laboratoire
Thin films
Metal oxide
Statistical analysis
Dielectric barrier discharge
Aerosols Pulsed Direct Liquid Injection Plasma Deposition Safer-by-design
DBD
Electrode erosion
Silicon oxynitride layers