Superconducting (YBa2Cu3O7-d) and manganite (La0.7Sr0.3MnO3) oxide thin film based devices
Microdispositifs en couches minces d'oxydes
supraconducteurs (YBa2Cu3O7-d)
et manganites (La0,7Sr0,3MnO3)
Résumé
This manuscript presents my research activity since my PhD thesis defended in 1993. I mainly worked on two types of oxides: YBCO et LSMO. I always kept in mind the development of devices as a whole, i.e. from the thin film to the device characterization. One part of my work has been devoted to the study of structural, electrical or magnetic properties of the thin films in order to optimize deposition conditions. Both YBCO and LSMO oxides present a perovskite structure and require similar deposition conditions (700 - 750 °c in O2 pressure) . I used three deposition methods: pulsed laser deposition, on axis high pressure sputtering and RF off axis sputtering.
Ce mémoire décrit mes travaux de recherche depuis le début de ma thèse de doctorat en
octobre 1993. J'ai principalement travaillé sur deux types d'oxydes: YBCO et LSMO. J'ai toujours
cherché à aborder le développement des microdispositifs dans leur ensemble, c'est à dire de la
couche mince à la caractérisation du composant. Une partie de mon travail a concerné l'étude des
propriétés structurales, électriques ou magnétiques des couches minces afin d'optimiser et stabiliser
les conditions de dépôts optimales. Les deux oxydes YBCO et LSMO présentent une structure de
type pérowskite et nécessitent des conditions de dépôts similaires (température de l'ordre de 700-
750 °C dans une atmosphère oxygénée). J'ai utilisé trois méthodes de dépôt différentes: l'ablation
laser pulsée, la pulvérisation cathodique DC on axis sous haute pression et la pulvérisation
cathodique RF off axis.
octobre 1993. J'ai principalement travaillé sur deux types d'oxydes: YBCO et LSMO. J'ai toujours
cherché à aborder le développement des microdispositifs dans leur ensemble, c'est à dire de la
couche mince à la caractérisation du composant. Une partie de mon travail a concerné l'étude des
propriétés structurales, électriques ou magnétiques des couches minces afin d'optimiser et stabiliser
les conditions de dépôts optimales. Les deux oxydes YBCO et LSMO présentent une structure de
type pérowskite et nécessitent des conditions de dépôts similaires (température de l'ordre de 700-
750 °C dans une atmosphère oxygénée). J'ai utilisé trois méthodes de dépôt différentes: l'ablation
laser pulsée, la pulvérisation cathodique DC on axis sous haute pression et la pulvérisation
cathodique RF off axis.
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