Développement et réalisation de briques de base pour la conception de microrelais électromagnétiques et magnétostrictifs
Résumé
This thesis deals with the study of microstructures (mircosystems) in order to realize electromagnetic and magnetostrictive mïcrorelays. This work is divided in three parts. In a first step, a bibliographical analyze will introduce mircotechnologies and microsystems. Then, this analyze will focus more specifically on the mirorelay problematic. In a second step, we will approach the first solution studied: the magnetostrictive microrelay. We will show the high potentiaî of thin films in this properties, with the study of a first prototype. This step gives a first analytical model which is developed hère. Finally, in a third party, we deal with the conception and development of electromagnetic microrelays for RF applications (function émission/réception in mobile phone switches). This work is divided in three parts. We will start to présent the mechanical design of the structures, then the magnetic design (microcoils, magnetic circuit). To finish, we will treat of the technological réalisation of the structures and theirs mechanical characterisations.
Cette thèse traite de l'étude de microstructures (microsystèmes) pour la réalisation de microrelais électromagnétiques et magnétostrictifs. Ce travail se divise en trois parties. Dans un premier temps, une analyse bibliographique nous permettra d'introduire les microtechnologies et les microsystèmes. Ensuite, cette analyse se focalisera plus spécifiquement sur la problématique du microrelais. Dans une deuxième partie, nous aborderons la première solution étudiée : le microrelais magnétostrictif. Nous montrerons ici le fort potentiel des applications couches minces dans ce domaine, avec le dimensionnement d'un premier prototype. Cette étape passe par le développement d'un premier modèle analytique qui y est présenté. Enfin dans une troisième partie, nous traiterons de l'élaboration de microrelais électromagnétiques à application RF (fonction émission/réception des commutateurs de téléphones cellulaires). Ce travail se décompose en trois parties. Nous traiterons d'abord le dimensionnement mécanique des structures retenues, puis le dimensionnement magnétique (commande, circuit magnétique, etc.). Enfin nous présenterons les réalisations technologiques ainsi que la caractérisation mécanique des structures.