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Habilitation à diriger des recherches

Etude et microstructuration de composants et microsystèmes en couches épaisses

Résumé : Ces activités de recherche sont principalement orientées vers la conception et la microstructuration des composants et microsystèmes à l'aide de technologies alternatives mais souvent complémentaires à la technologie Silicium. Elles comportent quatre périodes principales. En 1992, mes travaux de thèse au Laboratoire IXL de Bordeaux (devenu IMS) concernent la mise au point de dispositifs multi-capteurs sélectifs au méthane fiables, la technologie couche épaisse de sérigraphie ayant été utilisée pour la fabrication de ces microcapteurs. En 1996, lors d'un séjour post-doctoral en Allemagne à l'IMT Karlsruhe (Institut de MicroTechnologie), je m'intéresse aux microactionneurs piézoélectriques et m'initie à la technologie LIGA pour le développement d'un nouveau procédé technologique intégrant des microstructures sur un substrat piézoélectrique. En 1998, de retour au laboratoire IXL devenu ensuite IMS, je travaille à nouveau sur la technologie couches épaisses sérigraphiées avec des études sur l'influence de la porosité des couches et des interactions entre les éléments constituant les composants (électrodes, couches sensibles) sur les propriétés de composants. Puis en 2003, je me focalise plutôt sur les procédés de mise en œuvre de microstructures mobiles avec un nouveau procédé breveté dit de la couche sacrificielle et les applications en découlant. En parallèle avec ces études, une mise en valeur de matériaux novateurs de taille micrométrique ou nanométrique est réalisée avec le développement de composants basés sur des couches composites sérigraphiées. Enfin, depuis Juin 2012, une évolution naturelle vers l'électronique organique se fait puisque l'équipe PRIMS (Printed Microelectromechanical Systems) à laquelle je suis rattachée fait partie du groupe Electronique Organique et MEMS, et participe au LABEX AMADEUS et à l'EQUIPEX ELorprintec.
Document type :
Habilitation à diriger des recherches
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https://theses.hal.science/tel-00994767
Contributor : Isabelle Dufour Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, May 23, 2014 - 2:32:56 PM
Last modification on : Friday, October 23, 2020 - 4:57:37 PM
Long-term archiving on: : Tuesday, April 11, 2017 - 1:08:16 AM

Identifiers

  • HAL Id : tel-00994767, version 1

Citation

Hélène Debéda. Etude et microstructuration de composants et microsystèmes en couches épaisses. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Sciences et Technologies - Bordeaux I, 2013. ⟨tel-00994767⟩

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