CONTRIBUTION A L'EVALUATION DE LA TECHNIQUE DE GENERATION D'HARMONIQUE PAR FAISCEAU LASER POUR LA MESURE DES CHAMPS ELECTRIQUES DANS LES CIRCUITS INTEGRES (EFISHG) - TEL - Thèses en ligne Accéder directement au contenu
Thèse Année : 2009

CONTRIBUTION A L'EVALUATION DE LA TECHNIQUE DE GENERATION D'HARMONIQUE PAR FAISCEAU LASER POUR LA MESURE DES CHAMPS ELECTRIQUES DANS LES CIRCUITS INTEGRES (EFISHG)

Résumé

This work contributes to the evaluation of the technique of second harmonic generation induced by a quasi-static electric field, or EFISHG, applied to the field of microelectronics. A description of the principle of the technique EFISHG based on nonlinear optics, explains the physical origin of this method. A state of the art has identified two areas of applications related to microelectronics failure analysis, using the measurement of the internal electric fields in integrated circuits, and reliability by the studies of both charge trapping at the interface Si/SiO2 and degradation called Negative Bias Temperature Instability or NBTI. This manuscript presents the different steps that led to the development of a bench test for evaluating the applicability of the EFISHG technique. The experimental results obtained with it prove the potential of the EFISHG technique to characterize and accelerate the aging NBTI.
Ce travail contribue à l'évaluation de la technique de génération de seconde harmonique induite par un champ électrique quasi statique, ou technique EFISHG, appliquée au domaine de la microélectronique. Une description du principe de la technique EFISHG, basé sur l'optique non linéaire, permet d'appréhender l'origine physique de cette méthode. Un état de l'art a permis d'identifier deux champs d'applications liés à la microélectronique : l'analyse de défaillance, via la mesure en temps réelle des variations de champs électriques internes dans les circuits intégrés, et la fiabilité par l'étude du piégeage de charges à l'interface Si/SiO2 et de la dégradation dite de " Negative Bias Temperature Instability " ou NBTI. Ce manuscrit présente les différentes étapes qui ont permis l'élaboration d'un banc de test en vue de l'évaluation de l'applicabilité de la technique EFISHG à ces problématiques. Les résultats expérimentaux obtenus avec ce montage ont permis de mettre en avant les possibilités qu'offre la technique EFISHG à caractériser et à accélérer le vieillissement NBTI.
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Dates et versions

tel-00997396 , version 1 (28-05-2014)

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  • HAL Id : tel-00997396 , version 1

Citer

Fernandez Thomas. CONTRIBUTION A L'EVALUATION DE LA TECHNIQUE DE GENERATION D'HARMONIQUE PAR FAISCEAU LASER POUR LA MESURE DES CHAMPS ELECTRIQUES DANS LES CIRCUITS INTEGRES (EFISHG). Electronique. Université Sciences et Technologies - Bordeaux I, 2009. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨tel-00997396⟩
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