Nanométrologie dimensionnelle dédiée aux déplacements de platines macroscopiques - TEL - Thèses en ligne Accéder directement au contenu
Hdr Année : 2006

Nanométrologie dimensionnelle dédiée aux déplacements de platines macroscopiques

Dimensional metrology for macroscopic stage displacements

Résumé

This work concerns the field of the dimensional nanometrology, more particularly dedicated to positioning and displacements of mechanical stage on millimetre ranges. One will find details concerning the original methods developed at the laboratory, associating mechanical precision, optical sensors and high-frequency electronics which enabled to obtain many experimental results in this field. We are pointing out two spheres of activities more particularly. The first relates to the displacement of a carry-sample stage for applications in partnership with near-field microscopy and lithography where it is necessary to carry out millimetre-length displacements in a plan with repeatabilities of about one nanometer. The second relates to the balance of watt of the Laboratoire National d'Essai where it is necessary to move a mass along an axis at uniform 2 mm.s-1 with an accuracy of 10-9 in relative value.
Ces travaux portent sur le domaine de la nanométrologie dimensionnelle, plus particulièrement dédiée aux positionnements et aux déplacements de platines mécaniques sur des courses millimétriques. On y trouvera des détails concernant les méthodes originales développées au laboratoire, associant mécanique de précision, capteurs optiques et électronique haute fréquence qui ont permis d'obtenir de nombreux résultats expérimentaux dans ce domaine. L'accent est mis sur deux champs d'action plus particulièrement. Le premier concerne le déplacement d'une platine porte-échantillon pour des applications en association avec la microscopie en champ proche et la lithographie où il est nécessaire d'effectuer des déplacements millimétriques dans un plan avec des répétabilités de l'ordre du nanomètre. Le second concerne la balance du watt du Laboratoire National d'Essai où il est nécessaire de déplacer une masse le long d'un axe à une vitesse uniforme de 2 mm.s-1 avec une exactitude de 10-9 en valeur relative.
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Dates et versions

tel-00120736 , version 1 (18-12-2006)

Identifiants

  • HAL Id : tel-00120736 , version 1

Citer

Luc Chassagne. Nanométrologie dimensionnelle dédiée aux déplacements de platines macroscopiques. Autre. Université de Versailles-Saint Quentin en Yvelines, 2006. ⟨tel-00120736⟩

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