Étude de l'influence du substrat sur la formation de films de diamant. Application au développement de couches minces de nitrure de bore cubique - TEL - Thèses en ligne Accéder directement au contenu
Thèse Année : 1995

Study of the role of the substrate on the diamond nucleation and application to the development of cubic boron nitride thin films

Étude de l'influence du substrat sur la formation de films de diamant. Application au développement de couches minces de nitrure de bore cubique

Résumé

Using a “Solid State Chemistry” type approach, the role of the main factors characterizing the surface of the substrate (chemical composition, structure and chemical bonds) on the germination of diamond crystallites, as well as their morphology, was highlighted. The nucleation density and the Csp2/Csp3 ratio could in particular be correlated with the diffusion of carbon in the substrate. To control this, surface layers of covalent compounds such as nitrides and borides were used. They made it possible to achieve very high densities of diamond nuclei for relatively short deposition times. All the results concerning the deposition by heteroepitaxy of diamond made it possible to propose a methodology in terms of the choice of substrate and reactive species for obtaining thin layers of cubic boron nitride.
En utilisant une démarche de type "Chimie du Solide", le rôle des principaux facteurs caractérisant la surface du substrat (composition chimique, structure et liaisons chimiques) sur la germination de cristallites de diamant, ainsi que leur morphologie, a ete mis en évidence. La densité de nucléation et le rapport Csp2/Csp3 ont pu notamment etre corrélés a la diffusion du carbone dans le substrat. Afin de contrôler celle-ci, des couches superficielles de composes covalents tels que les nitrures et les borures ont été utilisées. Elles ont permis d'atteindre des densités très importantes de nucléi de diamant pour des temps de dépôt relativement courts. L'ensemble des résultats concernant le dépôt par hétéroépitaxie du diamant a permis de proposer une méthodologie au niveau du choix du substrat et des espèces réactives pour l'obtention de couches minces de nitrure de bore cubique.
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Dates et versions

tel-00143406 , version 1 (25-04-2007)

Identifiants

  • HAL Id : tel-00143406 , version 1

Citer

Dominique Michau. Étude de l'influence du substrat sur la formation de films de diamant. Application au développement de couches minces de nitrure de bore cubique. Matériaux. Université Sciences et Technologies - Bordeaux I, 1995. Français. ⟨NNT : 1995BOR10693⟩. ⟨tel-00143406⟩

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