Aide à la conception des microsystèmes - TEL - Thèses en ligne Accéder directement au contenu
Hdr Année : 2007

Aide à la conception des microsystèmes

Jérôme Juillard

Résumé

Mes travaux ont pour but le développement de nouveaux outils de modélisation et de conception de capteurs MEMS, qui répondent aux problèmes intrinsèques aux MEMS (couplage multi-physique, non-linéarité, incertitudes) par des moyens adaptés. L'impossibilité de transposer directement des méthodes macroscopiques à un contexte MEMS motive une grande partie de mon travail.
Le présent texte a pour objectif d'exposer mes contributions aux domaines de la modélisation, de la simulation et de l'aide à la conception des MEMS. Il s'articule comme suit :
• Au premier chapitre, un panorama du domaine des MEMS et de leur physique est ébauché. Les difficultés dont il a été question plus haut y sont mises en relief.
• Le deuxième chapitre porte sur le traitement du couplage entre phénomènes physiques, dans un contexte de modélisation. Mes travaux de thèse y sont présentés. Ce chapitre aborde aussi le thème de la non-linéarité, inhérente à la physique des MEMS, dont le traitement, en simulation, s'apparente à celui du couplage.
• Le troisième chapitre montre comment les incertitudes et non-linéarités intrinsèques aux MEMS et les contraintes de la micro-électronique imposent le choix de certaines architectures de microsystèmes. Des méthodes d'identification à partir de données binaires, ainsi que plusieurs méthodes d'analyse des systèmes mixtes à comparateurs, y sont présentées.
• Enfin, au quatrième chapitre, je donne quelques pistes de développement de ces travaux.
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Dates et versions

tel-00280542 , version 1 (23-05-2008)

Identifiants

  • HAL Id : tel-00280542 , version 1

Citer

Jérôme Juillard. Aide à la conception des microsystèmes. Automatique / Robotique. Université Paris Sud - Paris XI, 2007. ⟨tel-00280542⟩

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