Conception et Test de Microsystèmes Monolithiques CMOS - TEL - Thèses en ligne Accéder directement au contenu
Hdr Année : 2008

Design and Test of Monolithic MEMS

Conception et Test de Microsystèmes Monolithiques CMOS

Résumé

Ce manuscrit présente une synthèse de mes activités de recherche depuis mon recrutement aux fonctions de maître de conférences à l'Université Montpellier II en 2001. Cette activité est développée au sein de l'équipe « Microsystèmes », dans le département « Microélectronique » du LIRMM.
Le contenu de ce mémoire est organisé de façon à présenter pour chaque thème l'approche choisie et les résultats obtenus, en partant du dispositif élémentaire et en allant vers les aspects système, l'intégration et le test. Dans la section 2, je situe ces travaux dans leur contexte scientifique et dans leur chronologie afin à montrer l'évolution de notre démarche au fil des résultats obtenus. Le chapitre 3 est consacré à l'étude des dispositifs élémentaires. Les aspects liés à la modélisation, au prototypage et à la caractérisation y sont développés. Nous avons travaillé sur deux principes de transduction : les capteurs piézorésistifs et les capteurs thermiques. Notre expérience dans le domaine de la fiabilité est également abordée. Le chapitre 4 concerne la conception de systèmes microélectroniques à base de MEMS. Nos contributions s'appuient sur la réalisation de deux systèmes intégrés CMOS : une boussole et un capteur d'accélération thermique. A travers ces deux exemples, je montre nos résultats à la fois sur le plan des performances obtenues sur ces systèmes et sur des aspects plus méthodologiques de conception de MEMS. Je développe à la fin du manuscrit les perspectives de ces travaux et l'orientation de mes recherches pour les prochaines années.
Fichier principal
Vignette du fichier
HDR_latorre.pdf (9.98 Mo) Télécharger le fichier
Loading...

Dates et versions

tel-00397833 , version 1 (23-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : tel-00397833 , version 1

Citer

Laurent Latorre. Conception et Test de Microsystèmes Monolithiques CMOS. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Montpellier II - Sciences et Techniques du Languedoc, 2008. ⟨tel-00397833⟩
231 Consultations
745 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More