PECVD a-SiCxNy:H : A new type of molecular sieve membrane material for small gas permeation at intermediate temperature
Membranes a-SiCxNy:H déposées par CVD-plasma. Tamis moléculaire pour la perméation de l'hélium
Résumé
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Domaines
Matériaux
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
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