Caractérisation expérimentale et optimisation de procédés plasma pour la décontamination de l'AMC (Contamination Moléculaire Aéroportée) - TEL - Thèses en ligne Accéder directement au contenu
Thèse Année : 2016

Experimental characterization and optimization of plasma processes for the decontamination of the AMC (Airborne Molecular Contamination)

Caractérisation expérimentale et optimisation de procédés plasma pour la décontamination de l'AMC (Contamination Moléculaire Aéroportée)

Résumé

Un problème majeur en microélectronique est la contamination moléculaire aéroportée qui dégrade les substrats et les masques diminuant le rendement de production des composants. L'utilisation de boîtes de transport en polymères pour le stockage des substrats favorise la contamination moléculaire croisée entre les deux éléments. Il est alors primordial d'avoir un procédé de décontamination des boîtes efficace et rapide. Dans le cadre de cette thèse, plusieurs solutions de décontamination par plasmas ont été étudiées. Les plasmas étaient générés selon quatre couplages énergétiques en utilisant des excitations radiofréquence (13,56 MHz) et micro-onde (2,45 GHz). Ils étaient caractérisés avec une sonde de Langmuir et un spectromètre optique sous différentes conditions expérimentales. Enfin, un protocole de contamination au fluorure d'hydrogène a été développé pour évaluer et comparer l'efficacité de décontamination des procédés plasma à ceux utilisés actuellement en microélectronique.
Un problème majeur en microélectronique est la contamination moléculaire aéroportée qui dégrade les substrats et les masques diminuant le rendement de production des composants. L'utilisation de boîtes de transport en polymères pour le stockage des substrats favorise la contamination moléculaire croisée entre les deux éléments. Il est alors primordial d'avoir un procédé de décontamination des boîtes efficace et rapide. Dans le cadre de cette thèse, plusieurs solutions de décontamination par plasmas ont été étudiées. Les plasmas étaient générés selon quatre couplages énergétiques en utilisant des excitations radiofréquence (13,56 MHz) et micro-onde (2,45 GHz). Ils étaient caractérisés avec une sonde de Langmuir et un spectromètre optique sous différentes conditions expérimentales. Enfin, un protocole de contamination au fluorure d'hydrogène a été développé pour évaluer et comparer l'efficacité de décontamination des procédés plasma à ceux utilisés actuellement en microélectronique.
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Origine : Version validée par le jury (STAR)

Dates et versions

tel-03510344 , version 1 (04-01-2022)

Identifiants

  • HAL Id : tel-03510344 , version 1

Citer

Christopher Laurent. Caractérisation expérimentale et optimisation de procédés plasma pour la décontamination de l'AMC (Contamination Moléculaire Aéroportée). Plasmas. Université Paul Sabatier - Toulouse III, 2016. Français. ⟨NNT : 2016TOU30285⟩. ⟨tel-03510344⟩
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